如何控制空氣中的AMC污染目前存在許多問(wèn)題，諸如設(shè)計(jì)不合理、產(chǎn)品質(zhì)量差、控制不完善等等。業(yè)內(nèi)研究人士也對(duì)空氣AMC的改善與控制提出一系列的解決辦法，但在工程實(shí)際中由于受到投資成本、技術(shù)等方面的限制，始終難以解決根本問(wèn)題。 
    影響潔凈室空氣AMC的因素包括系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計(jì)、新風(fēng)量、設(shè)備性能等。因此，改善室內(nèi)空氣的AMC，就要對(duì)空氣循環(huán)過(guò)程的每一個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行控制，而大家往往忽視空調(diào)凈化回風(fēng)口的過(guò)濾作用。 
    回風(fēng)口是空調(diào)、凈化工程中必須給予重視的裝置。在工程中由于其造價(jià)占用比例小、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，很難引起設(shè)計(jì)人員及使用者的注意，通常把它作為小產(chǎn)品，只注意它的外觀裝飾作用而忽略了它的使用功能。其實(shí)，回風(fēng)口的過(guò)濾器性能可以保持空調(diào)、凈化環(huán)境符合要求，尤其是像IC工廠潔凈室這樣本身作為AMC污染主要源頭的環(huán)境。有效的改善和控制凈化空調(diào)一次回風(fēng)口，是確保后續(xù)的高效過(guò)濾器效能和送風(fēng)質(zhì)量滿足生產(chǎn)加工工藝環(huán)境的重要條件。
    常見(jiàn)形式及問(wèn)題 
    國(guó)內(nèi)IC廠凈化空調(diào)一次回風(fēng)主要有以下兩種： 
    1.一次回風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)：新風(fēng)與回風(fēng)混合再經(jīng)溫濕度處理形式； 
    2.一次回風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)：新風(fēng)單獨(dú)作溫濕度處理形式。 
    從下圖可以看出，兩種形式都是空氣經(jīng)過(guò)與室內(nèi)污染物稀釋后再被吸回到回風(fēng)管，經(jīng)回風(fēng)管作簡(jiǎn)單的過(guò)濾處理后直接與外部進(jìn)來(lái)的OA新風(fēng)混合再進(jìn)入AHU凈化空調(diào)。目前許多工業(yè)用潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的主流應(yīng)用形式就是這兩種，主要是從技術(shù)經(jīng)濟(jì)意義上考慮，而問(wèn)題恰恰就出現(xiàn)在這里。IC工廠的潔凈室內(nèi)存在許多化學(xué)藥品，所以它本身產(chǎn)生的污染（特別是對(duì)晶圓加工工藝質(zhì)量影響較大的AMC污染）成為最主要的源頭之一。而如果在重新利用之前，不加以控制，那么就容易造成交叉式二次污染，導(dǎo)致凈化空調(diào)高效過(guò)濾器（化學(xué)過(guò)濾器）前污染濃度上升，影響高效過(guò)濾器（化學(xué)過(guò)濾器）的過(guò)濾效能，最終使?jié)崈羰覂?nèi)加工環(huán)境受到破壞，危害產(chǎn)品的質(zhì)量。
    AMC凈化現(xiàn)狀 
    經(jīng)調(diào)查，目前國(guó)內(nèi)的空調(diào)、凈化場(chǎng)所的回風(fēng)口及其過(guò)濾系統(tǒng)通常只有幾種簡(jiǎn)單的形式： 
    1.回風(fēng)口加一層尼龍網(wǎng)； 
    2.回風(fēng)口加一只多層金屬網(wǎng)制成的過(guò)濾器； 
    3.回風(fēng)口則無(wú)任何過(guò)濾。 
    很多設(shè)計(jì)對(duì)回風(fēng)過(guò)濾的效率是沒(méi)有具體要求的，國(guó)家規(guī)范及行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)也沒(méi)有相應(yīng)的規(guī)定，因此，大多數(shù)凈化空調(diào)廠家在設(shè)計(jì)中也僅僅只加一層尼龍過(guò)濾網(wǎng)。而單層尼龍網(wǎng)基本上連對(duì)空氣中的顆粒及纖維污染物都起不到應(yīng)有的過(guò)濾作用，更不用說(shuō)能對(duì)分子級(jí)的AMC污染進(jìn)行有效的凈化。 
    但是，如果回風(fēng)口單獨(dú)增加一組AHU凈化空調(diào)，就違背了當(dāng)初僅從技術(shù)經(jīng)濟(jì)意義上考慮，使用回風(fēng)循環(huán)達(dá)到節(jié)省投資與運(yùn)行成本的根本目的。
    新型AMC凈化裝置 
    除了大家不夠重視之外，還有幾個(gè)技術(shù)因素制約凈化空調(diào)一次回風(fēng)控制AMC裝置的研發(fā)，包括： 
    1.高效去除AMC的能力。
即在單氣體狀態(tài)下去除率達(dá)到85%以上（入口濃度≤30ppb時(shí)）。 
    2.節(jié)省空間。即安裝裝置應(yīng)盡量占用較少空間，且位置應(yīng)方便拆卸更換，不影響整個(gè)空調(diào)系統(tǒng)的運(yùn)行，便于分散管理和控制。 
    3.容易控制溫、濕度。即高精度的溫、濕度控制能力。 
    4.節(jié)省能源。即除了考慮一次投資成本外，還應(yīng)在運(yùn)行過(guò)程中節(jié)能源、成本。 
    任何新的凈化空調(diào)一次回風(fēng)控制AMC裝置的開(kāi)發(fā)都應(yīng)能滿足以上的技術(shù)要求。 
    2004年初，日本空氣凈化空調(diào)業(yè)的專(zhuān)家最先研發(fā)出了新型凈化空調(diào)一次回風(fēng)控制AMC裝置：循環(huán)式水噴淋裝置。 
    此裝置能高效去除AMC，原理是大部分AMC污染物質(zhì)都屬于親水性（Hydrophilic）很強(qiáng)的化學(xué)物質(zhì)。
    結(jié)論 
    在IC工廠潔凈室凈化空調(diào)一次回風(fēng)中應(yīng)用此循環(huán)式水噴淋裝置，可以保證末端凈化空調(diào)高效過(guò)濾器（化學(xué)過(guò)濾器）的使用壽命及AMC去除效果，從而保證室內(nèi)加工環(huán)境的品質(zhì)及空調(diào)系統(tǒng)的正常運(yùn)行。